来源 ： 雪球App ， 作者 ： 汤念祖 ， （ ?mata/article_2026012508470613_431602.html ）

阿斯麦高管：中国EUV原型机仅有我们20年前（2006年）的水平！白春理院士：中国做光刻机时还没有阿斯麦！

不久前，ASML前CEO彼得·温宁克在荷兰电视台上很不屑地说：“中国造EUV原型机，完全在我们意料之中，合乎逻辑，这台原型机，仅相当于ASML 20年前的水平”！言语之中，充满着不屑！被称为“人类工业皇冠上的明珠”的光刻机是怎么发展起来的呢？

1984年，荷兰飞利浦公司拆分半导体设备部门，联合荷兰政府、ASMI公司成立了ASML（Advanced Semiconductor Materials Lithography）。

那时的光刻机市场，被美国GCA、日本尼康/佳能统治了——1990年代，尼康占据全球光刻机市场70%的份额，ASML只能在中低端领域艰难求生。

1997年时出现转折：ASML押注“沉浸式光刻”技术，而尼康选择了另一条路线。

这一技术路线的分歧，让ASML在2000年后逐渐反超——2004年，ASML推出第一台193nm沉浸式光刻机，一举拿下全球一半以上的市场份额；到2010年，ASML彻底挤掉尼康、佳能，成为全球光刻机行业的绝对龙头。

而真正奠定其“不可替代”地位的，是EUV（极紫外）光刻机的研发。

早在1997年，ASML就联合英特尔、摩托罗拉等企业启动EUV技术研究，但这台“工业怪物”的复杂度，远超所有人的想象：

它包含10万多个零部件，需要全球5000多家供应商协同，仅德国蔡司的光学镜头，就需要打磨20年才能达到纳米级精度；

美国Cymer公司提供的极紫外光源，要在每秒产生5万次等离子体爆炸的同时，保持输出稳定；

整台设备的对准精度，相当于“从地球发射子弹击中月球上的一枚硬币”。

2006年这一年，ASML交付了首台EUV原型机，但这台原型机的良品率很低，还不到10%，光源寿命只有短短几百小时，完全没法满足芯片的量产需求。

但同时让ASML有了三重壁垒：技术壁垒（纳米级精度）、供应链壁垒（全球顶级企业绑定）、生态壁垒（长期的客户服务与技术适配）——这也是温宁克认为“中国原型机相当于ASML2006年水平”的主要原因。 温宁克说“中国造EUV原型机在情理之中”，这句话的另一层意思是：中国不可能永远被挡在高端半导体产业链之外。

作为全球最大的芯片消费市场（占全球芯片需求的50%以上），中国在2018年后接连遭遇“卡脖子”——从华为芯片断供，到高端光刻机禁售，核心技术的缺失，直接威胁着电子信息、汽车、通信等数十个产业的安全。

中科院院士，中科院原院长白春理说，“上世纪六七十年代时候，中国做光刻机，跟国外差距没那么大，那个时候荷兰的 ASML 还没成立，我们就已经做出光刻机来，离当时的国际先进水平，差别顶多就是一代，质谱仪、电镜，我们中国原来都能做的，但是国外的便宜又好用，都买国外的，所以我们就发展不起来，现在反过来一想，你不卖，那我必须自己做，那没准这种倒逼机制也许会使我们这些东西能够发展起来”

在国外以光刻机为典型代表的“卡脖子”困境下，确实为我国相关产业发展带来了一系列倒逼效应：

从技术攻坚角度而言，被“卡脖子”让科研人员、企业等清晰认识到关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的。以光刻机为例，它集光学、机械、电子、软件等多学科前沿技术于一体，制作工艺极其复杂。此前国外垄断企业凭借技术优势限制对华出口，这促使我国科研团队全力投入研发。

产业协同层面，“卡脖子”困境促使国内上下游产业紧密抱团。因为光刻机生产涉及成百上千家供应商，芯片制造产业同样产业链冗长。当国外断供风险出现，国内的材料供应商、精密部件制造商、系统集成商等开始深度合作，打破以往各自为战的局面，构建起完整且自主可控的产业链条，实现从设计研发、原材料供应、生产制造到封装测试全流程协同推进，确保相关产业即使在外部封锁下也能稳定运转。

在人才培养体系上，“卡脖子”也发挥着关键作用。

一方面，大量高端人才受爱国情怀与科研挑战吸引，投身到如光刻机研发这类关键领域，高校也针对性地调整学科设置、课程内容，培养适应产业需求的专业人才； 另一方面，在实战研发过程中，通过项目锻炼培养了一批既懂理论又能实操的复合型人才，他们带着解决实际问题的经验在产业中持续发光发热，为后续技术迭代与产业拓展注入源源不断的活力，使得我国在应对“卡脖子”难题中有坚实的人才支撑。 哈工大赵永蓬教授团队的“放电等离子体极紫外光刻光源”技术于 2025 年 1 月 5 日被报道获得 2024 黑龙江省高校和科研院所职工科技创新成果转化大赛一等奖 ，此技术攻克了我国 EUV 光刻机关键的光源瓶颈。

长春光机所的第一台 EUV 光刻机工程样机、清华大学的稳态聚束光源技术，都为 EUV 发展添力。此外，华为和中芯国际也亮点频频。华为不断加大芯片研发投入，在芯片设计领域持续创新，麒麟系列芯片性能卓越；虽受外部限制，仍通过技术迭代突破困境。中芯国际作为国内芯片制造大厂，在工艺制程上发力，稳步推进 N+1、N+2 等制程工艺研发，提升芯片制造产能与良品率；

从长远目标来看的话，这种“卡脖子”的倒逼机制虽然短期给我国产业发展带来很多限制，但却能促使我国坚定自主创新决心，全方位提升科技、产业与人才实力，实现最终的关键领域突围。

高赞文章推荐

荷兰封禁安世中国团队账号，不排除紧急情况下切断系统资金！闻泰回应：不得不采取自救！网友：这是被抢了300多亿啊！

杨振宁直言自己一生中最重要的贡献：是帮中国人克服了自己不如人的心理！网友：伟大的科学巨匠

黄仁勋自曝英伟达在中国市场跌到0%，难以想象美国政策制定者会认为失去全球最大的市场之一是一个明智选择！

小米SU7成都事故后，雷军首次现身演讲！尽显低调，弹幕很多“雷总好久不见，想你了雷总，雷总加油”

印尼国防部长确认：将采购中国歼-10战斗机！网友：金杯银杯不如巴印空战实战口碑

英国物理学会主席：中国极有可能成为全球首个核聚变发电的国家！美国已经放弃应对气候变化

解说激动不已：星舰从4000公里时速刹到瞬间悬停！网友：big胆，致敬雷军

查理·芒格：除了跟中国开展相对自由的贸易，我们别无选择，强国更替、中国崛起是自然规律，何必恼火？

美经济学家萨克斯：美国正试图损害中国经济，通过关税、技术禁令、全面信息战围堵中国这些招数，注定失败!

美媒称台积电因芯片含中国稀土，无法向美国出售任何半导体芯片！网友：正当之举，岂容歪曲

印度出息了！莫迪宣布将派空军教员赴英国担任英皇家空军教练！网友：日不落帝国没落成这样了？

特斯拉FSD落地缓慢，马斯克说是因为中国车企阻挠！网友：全球都验证了不行，泼脏水给中国第一名